個片から小径ウエハ（〜4／6インチ）の測定に対応した研究開発用小型マニュアルプローバ。特徴は、①プロービングに必要な機能のみに絞ったシンプルな機構で、信頼性の高い測定を実現、②オペレータを選ばない簡単操作を実現、③fAレベル、fFレベルの微小信号I-V／C-V測定に対応、④トライアキシャル（三重同軸）構造のチャックを搭載することにより、fAレベルの微小電流バックゲート測定に対応、⑤省スペース／軽量、など。