濃リン酸のボイリングポイントをリフラッキシングによって自己調節する機能を有する石英ナイトライドリフラックスシステム。特徴は、①プロセス温度の選択は、希望するエッチレートと3つの要素、最適なプロセス温度と濃リン酸と純水の割合のバランスを取ることによって達成され、純水の割合によって薬品の沸点が決定される、②薬品の沸点を感知／管理する独自のナイトライドコントローラにより、濃縮リン酸液の沸点温度とレートをコントロールパラメータによって操作できる、③一定したプロセスを実現、④LOT番号による繰り返し操作が可能、など。