φ150mm（6インチ）ウエハ対応のフロントローディング式真空プロセス高速加熱炉。特徴は、①卓上型サイズながら、最大到達温度1000℃を実現、②窒素ガスパージ、酸素ガスパージ、フォーミングガス（水素＋窒素）パージなどに対応、③ワーキングエリアがガスシールドされているため、コンタミを気にするプロセスや、その他のクリチカルなプロセスに使用することが可能、④上下48本のIR（赤外）ヒータによって加熱が行われるため、正確で高速な加熱を行うことが可能、など。