加熱エリア上面、下面にIR（赤外）方式のヒータを装備し、最大到達温度1000℃、最高35K/sec.の高速昇温が可能なトップローディング式真空プロセス高速加熱炉。特徴は、①窒素ガスパージ、酸素ガスパージ、フォーミングガス（水素＋窒素）パージなどに対応、②ワーキングエリアがガスシールドされているため、コンタミを気にするプロセスや、その他のクリチカルなプロセスに使用することが可能、③上下48本のIRヒータにより加熱されるため、正確で高速な加熱を行うことが可能、など。