小型卓上装置として開発し、少量量産から研究開発までの広い製造範囲をサポートする真空プラズマ表面処理装置。特徴は、①表面処理、高度クリーニングおよび活性化に利用可能、②内蔵の専用制御PLCは自由に設定を行うことのできる各プロセス／パラメータを保存可能、③タッチスクリーンと判りやすい指示表示で簡単な操作が可能、④チャンバ内上側からのマイクロ波導入、⑤開き戸、⑥電源切断時に自動的にポンプ配管系を復圧、など。