位置決め装置を追加せず、単体で全6自由度を動作させることができる真空タイプ6軸モータステージ。特徴は、①真空度：＜10?9hPa、②非磁性アプリケーション、③ 6軸マイクロロボットシステム、④小型で高さが低いシステム、⑤トラベルレンジリニア：13×13×10mm、⑥トラベルレンジ回転：Rx、Ry、Rz 14×14×14°、⑦最大速度：＜10mm/秒、⑧耐荷重：＜1kg（中心負荷）、⑨ピボットポイントがユーザーによって設定可能、など。