スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適な直動エアベアリングステージ。特徴は、①クリーンルームに対応、②カスタマイズ可能、③テーブルサイズ：160×200mm、④移動長さ：最大400mm、⑤最大ペイロード：10kg、⑥非接触完全フリロード空気ベアリング、⑦アイアンレスコギングフリーリニアモータ、⑧内蔵光学リニアエンコーダ、⑨最大分解能：1nm、⑩最大速度：1m/秒、⑪最大加速度：3g、など。