磁気的にプリロードされた空気ベアリングおよび内蔵光学リニアエンコーダによるリニアサーボモータ駆動の直動エアベアリングステージ。特徴は、①スキャニングまたは高分解能ボジショニングに最適、②クリーンルームに対応、③カスタマイズ可能、④テーブルサイズ：160×200mm、⑤移動長さ：最大400mm、⑥最大ペイロード：10kg、⑦非接触完全プリロード空気ベアリング、⑧アイアンレスコギングフリーリニアモータ、⑨内蔵光学リニアエンコーダ、⑩最大分解能：1nm、⑪最大速度：1m/sec、最大加速度：3g、など。