サンプル表面の光の変化を検出することにより、表面温度の変化を計測することができる発熱解析装置。特徴は、①空間分解能：φ0.2μm〜、②温度分解能：0.1℃、③高速温度測定時間：通常1分以内、④ピクセルごとに係数を校正し、高精度計測が可能、⑤すべての半導体材料に対応、⑥表面および裏面からの測定に対応、⑦InfraScopeシステムのオプションとして搭載可能、⑧同製品のみのスタンドアローン機としても使用可能、など。