50Wを超えるUV出力、高信頼性、低所有コストを備えたMKS社製産業用フェムト秒レーザ。特徴は、①UV波長と超短パルス（＜500fs）のコンビネーションによる優れた特徴を高品質で実現、②シングルショットから3MHzまでの調整可能な繰り返し周波数、③優れたアブレーション効果での加工を引き出すTimeShiftプログラマブルバーストモード機能、④パルスオンデマンド（POD）および位置同期出力（PSO）トリガリング、⑤24/7運転が可能、など。