新しい製造技術を応用した3軸微振動センサ。特徴は、①微細精密金型技術を内部構造に応用し、外部構造には積層セラミックを採用して信頼性能を向上させたことで電気容量がほとんど不要で、感度が良く、回路設計が簡単、②主な用途は、アクティブ型ICタグや無線通信機器の静動検知によるパワーセービング、通信制御自動化卜リガなど、③用途例は、ICT機器、自転車オートライト、携帯情報端末機器、ロボット／玩具、アクティブ型ICタグ、盗難防止装置、スマートキーシステム、生態調査、など。