検査装置向け、小型軽量タイプ、最大流量40mℓ/minまで測定可能な液体流量センサ。特徴は、①同社が実績をもつ熱式マイクロセンサの測定原理を用い、双方向で水系40mℓ/minまでの液体の流量測定を可能とする液体フローセンサ、②センサチップが媒体に対して非接触ながらも高感度、応答速度の速い（20mSec以下）測定が可能、③可動部分のない構造と繰り返し測定精度が高いことから長期的に信頼性の高い測定が可能、④コンパクト、軽量なボディサイズ（48×15.5×8.mm、3.0g）で、装置実装時の設計自由度に貢献、など。