きわめて小型、軽量な液体フローセンサ。特徴は、①優れたS／N比と、かつてないターンダウン比、②液体分注システムの不具合を高精度に検知可能、③高集積：線形化、温度補償、完全校正済みデジタル出力信号（I²c）をワンチップで実現、④±40mℓ/minまでの水とIPA用に校正済み、⑤ターンダウン比は200：1以上、⑥mSec単位の応答時間で高速測定、⑦閉塞や配管内の気泡などを正確に検知、⑧1/4″-28のフラットボトムポートと標準コネクタにより容易に流体的／電気的接続が可能、⑨ストレート配管かつ非閉塞な流路形状で可動部品なし、⑩媒体から隔離したセンシング原理、流体と非接触、など。