フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1μmから測定可能な液中パーティクルセンサ。特徴は、①多点監視システムに接続可能、②最小可測粒径：0.1μm（0.07μm対応可能）、定格流量：5mℓ/min（純水などの透明な液体の場合）、③粒径区分は、0.1〜0.5μmの範囲で最大10段階、出荷時：5段階（0.1／0.15／0.2／0.3／0.5μm以上）、など。