薬液中の0.03μm粒子を測定できるフッ化水素酸対応液中パーティクルセンサ。特徴は、①最小可測粒径0.03μm、②任意に粒径区分を設定可能（0.03〜0.13μmの範囲で10段階、設定はコントローラKE-40B1から行う）、③セルにサファイアを採用、④豊富なオプションによりバッチ測定とインライン測定の両方に対応、⑤光源：半導体レーザ励起固体レーザ（波長532nm、定格出力800mW）、⑥定格流量：10mℓ/分、など。