超音波流量計検出器、コントロール弁、流量演算およびバルブ制御を行う回路部を一体化した流量コントローラ。特徴は、①気泡耐性を向上させ、流量計測の安定性も向上、②最新の演算回路により極めて速いステップ応答性を実現し、設定値に対して1.5秒以内の制御速度を実現、③2種類のバルブタイプを選択可能、④小型軽量化を実現、⑤複雑な配管／配線が不要、⑥消費電流を削減、⑦RoHS対応、⑧接液部に高耐食の材料を採用、など。