純水／超純水や各種薬液などの微小流量を高精度測定できる流体用超音波流量計。特徴は、①超音波の伝播計測が難しかった内径φ2.5mmの管路で超音波の伝搬計測に成功、②接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、可動部や液溜まりを生じやすいシール部もない理想的なクリーン構造、③流量計の入／出口部は規格寸法のチューブになっており、各種PFA継ぎ手への接続が可能、④最小フルスケール設定範囲：0〜10mℓ/分、など。