気体の流量を質量ベースで正確に測定およびコントロールする気体用熱式質量流量計／コントローラ。特徴は、①5NCCM〜500NLMまでの広い流量範囲をカバー、②ラミナーフローエレメントにより最適なフルスケール調整が可能、③高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能、④応答性が優れている、⑤マスフローコントローラのコントロールバルブは、ノルマルクローズタイプの電磁式で応答性がよく、安全に使用できる、など。