膜厚、段差測定など、レシピ自動測定に最適な接触式段差計。特徴は、①1300μm（フルストローク）のワイドレンジ検出器で、X／Y方向測定が可能で、アプリ機能が充実、②テーブルのレベリング不要で、測定パスを最適化し、X／Y方向両軸測定が可能、③直動方式検出器により、測定精度／再現性を実現、④ワークの置き直しが不要で、指定領域一括測定により測定時間を短縮、⑤専用ソフトウエアを追加することで、プロファイル上からの微細角度測定が可能、⑥20mm以下の反り測定が可能、⑦カメラ画面上でマウスクリックにより測定距離を容易に決定できる、など。