非接触では測定できない物や、非接触センサの比較やマスタとして使用可能な接触式フィルム厚さ測定機。特徴は、①メトロ社製コンパクトアンプ、スイス製高性能プローブ、堅牢なスタンドで構成、②10nmの分解能と30nmの繰り返し精度が可能、③プローブの測定範囲は2mm、④比較測定によりマスタとの偏差を表示可能、⑤読み取りは1000／100／10nm切り替え式、⑥スプリングレスのプローブは自重だけの約5g程度の測定圧を実現、など。