広範囲レンジ対応の非接触（渦電流法）シート抵抗／抵抗率 多点測定器。特徴は、①セミオートタイプ（多点測定システム）の製品、②複数タイプの非接触プローブによる広範囲レンジ対応。また、搭載するブローブ数およびプローブタイブは要望により変更可能、③エッジ8mmからの多点測定可能、④非接触の渦電流方式のためダメージを与えず測定が可能、⑤測定パターンプログラマブルかつ2-D／3-Dマッピングソフトウエア、⑥オプションにてウエハ厚さブローブ追加搭載可能、など。