微細穴を非破壊で可視化する微細穴三次元形状測定機。特徴は、①微小な挙動を高精度で検出する検出制御系を開発、②微細穴φ10μm〜／深さ〜300μmの穴内部形状を測定し、可視化、③高分解能10nm、低測定圧0.1μN以下を実現、④接触による破壊から解放される高弾性ファイバスタイラス使用、⑤穴の内径／深さ／壁面を測定、⑥真円度／円筒度／直径／平面度／直角度／段差の解析機能、⑦レシピ作成により自動測定可能、など。