空気／窒素／酸素／非腐食性ガスにおいて微小差圧の測定が可能な微差圧センサ。特徴は、①最大±500Paの差圧測定が可能、②測定原理は同社の実績ある熱式マイクロセンサ技術を採用し、双方向から高精度かつ応答速度の速い測定が可能、③可動部分のない構造で、繰り返し測定精度が高く、長期的に信頼性の高い測定が可能、④低差圧での感度やゼロポイント精度に優れる、⑤全数キャリブレーション済み、⑥温度補償回路内蔵、など。