高画質熱画像（1024×1024）が得られる微小部分発熱解析装置。特徴は、①真温度分布解析用（TM）とホットスポット解析用（HS）をラインアップ、②放射率自動補正機能（全ピクセル）搭載（TM）、③空間分解能：〜φ2μm（20倍レンズ）（TM）、④リアルタイム温度計測（TM）、⑤表面／裏面からの計測が可能（HS）、⑥モジュレーションモード搭載（HS）、⑦検出感度：50mK（定常状態）／μK（モジュレーションモード）（HS）、など。