大流量／高濃度のオゾン水を生成でき、洗浄／レジスト剥離用途に適合した循環型オゾン水生成器。特徴は、①溜まり水／捨て水が極めて少ない、②濃度の立ち上がりが早い（1分でオゾン水を生成）、③洗浄プロセスでのオゾン水濃度／流量が安定、④独自技術により、精密洗浄に適したメタルフリーオゾン水を生成、⑤濃度〜100ppm、流量1〜50ℓ/分の幅広い適応、⑥発生器、混合器の個別利用可能、⑦冷却方式：外部水冷、⑧オゾン水吐出圧：MAX 0.2MPa、⑨外寸：W900×D929×H1881mm、など。