精密研磨された多層膜ミラーで、設計波長と入射角（AOI）で反射率が最大となるようデザインされている極端紫外（EUV）用平面ミラー。特徴は、①入射角5°と45°用をラインアップし、EUV放射においてもっとも高い反射率の波長である13.5nmでほぼ理想的な反射率になる、②RoHS指令に準拠し、スーパーポリッシュされた単結晶シリコン基板にコーティングが蒸着されているため、熱的安定性に優れている、③コヒーレント回折イメージング（CDI）や材料科学に適している、など。