平面ミラー
極端紫外用
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精密研磨された多層膜ミラーで、設計波長と入射角(AOI)で反射率が最大となるようデザインされている極端紫外(EUV)用平面ミラー。特徴は、①入射角5°と45°用をラインアップし、EUV放射においてもっとも高い反射率の波長である13.5nmでほぼ理想的な反射率になる、②RoHS指令に準拠し、スーパーポリッシュされた単結晶シリコン基板にコーティングが蒸着されているため、熱的安定性に優れている、③コヒーレント回折イメージング(CDI)や材料科学に適している、など。
- 会社名
- エドモンド・オプティクス・ジャパン(株)
- 所在地
- 東京都文京区本駒込2-29-24
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