各種液体、気体の微小流量の計測／出力を行う小型面積流量計。特徴は、①キャリブレーションデータを搭載したマイクロプロセッサで誤差要因を自動的に補正し、微小流量域での高精度計測が可能、②最小流量0.6〜3ℓ/時（水）の微小流量域をカバー、③磁気センサ検出方式でヒステリシスを排除し、高精度／高再現性を達成、④見やすいLCDデジタル表示、⑤2線式、DC4〜20mA出力、⑥Exd II CT6、水素雰囲気対応耐圧防爆構造、など。