電子冷却ドライヤで前処理した乾燥エアを窒素分離膜へ送り込み、安定した濃度の窒素ガスを供給可能とした小型窒素ガス発生装置。特徴は、①5ℓ/minと10ℓ/minの2タイプを用意、②オイルレスコンプレッサを内蔵しており、この1台で窒素ガスが供給可能、③電子冷却エアドライヤで前処理を行うので安定した濃度の窒素ガスを供給可能、④デジタル流量計を内蔵しており、瞬間流量及び績窒流量の表示とともに流量調整も可能、⑤ステンレスタンクを内蔵しており、オートドレン機能付きなのでクリーンな環境下で使用するのに最適、⑥窒素ガスの露点温度は−50℃の低露点、など。