微少流量小型セラミックガスフィルタ。

特徴は、
①小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されているため、取り付けスペースの狭いシリンダキャビネットや装置などに最適、
②フィルタエレメントには多層構造のセラミックを使用しているため高ろ過精度、
③全品出荷時にCNCカウンタにて0.003μmパーティクルのゼロカウント確認後、出荷している、
④セラミックフィルタはオールメタルフィルタに比べ水分吸着量が著しく少なく、水分などの脱ガス特性にすぐれる、
⑤フィルタ内部のガス滞留部をできる限り抑えた構造のため、ガス置換性にすぐれる、
など。