超純水、各種薬液などの流量を高精度かつ安定して計測できる小口径超音波流量計。特徴は、①変換器と検出器が一体構造のため、配管／配線が極めて容易、②省スペース、③メータ前面の7セグメント、LEDバーグラフで暗い場所でも流量の確認が可能、④専用コンフィグソフトウエアを使用することで、警報出力などのパラメータの設定変更が可能、⑤接液部はすべて成型品の半導体産業向けPFAで構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいシール部もない理想的なクリーン構造、⑥マグネットによるゼロ調整、⑦RS-485通信にてパラメータ設定、⑧RoHS対応、など。