透過ターゲットを採用し、高分解能、高拡大率、広放射角度を実現した密封型マイクロフォーカスX線源。特徴は、①高精度な高圧電源を開発したことで透過ターゲットの採用に成功し、上位機種である開放型マイクロフォーカスX線源との置き換えが可能、②メンテナンスフリーで小型軽量、低消費電力な従来の密封型マイクロフォーカスX線源の特徴を維持したままで、高分解能を実現、③開放型マイクロフォーカスX線源と比較し、メンテナンスコスト削減、省スペース化、省電力化することが可能、など。