大気圧プラズマ照射装置
DBD方式
空冷方式の採用により大幅な小型化を実現した大気圧プラズマ照射装置。特徴は、①同社独自のDBD方式により低消費電力ながら、ポリプロピレンや液晶ポリマなどの樹脂系基板、ガラスなどの無機基材に対し高い洗浄/表面改質効果が得られる、②プロセスガスのみで冷却でき、大幅な小型化、軽量化を実現しており、設置レイアウトの自由度向上や既存設備への追加搭載が容易、③リモートプラズマ方式で対象物へのダメージを軽減。放電や熱による基材ダメージを最小化、④様々な種類の基材に対して処理が可能、⑤ライン照射タイプながらも小型化(奥行き50×高さ70mm)を実現、など。
- 会社名
- ウシオ電機(株)
- 所在地
- 東京都千代田区丸の内1-6-5
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