ピエゾアクチュエータを内蔵し、Z軸ストローク20μmを発生する大型窓Z軸ピエゾステージ。

特徴は、
①窓口径は6インチ相当、
②ミリ秒の高速応答と高精度位置分解能を実現、
③駆動電圧：?10?150V、
④オープンループ変位量：20μm、
⑤オープンループ分解能：0.1nm、
⑥主要材質：アルミ、
⑦コネクタ：BNC、
⑧クローズドピエゾコントローラと組み合わせることで高精度な位置決めが可能な変位センサ内蔵タイプも用意、
など。