ガラス基板を多孔質体で全面吸着固定する大型吸着盤。

特徴は、
①多孔質体により偏りのない均一な全面吸着を実現し、ガラス基板へ吸着痕を残すことなく確実な真空吸着固定が可能、
②構造部材にアルミハニカムを採用することで、大型化した際の重量増加を抑えつつ、強度と剛性を確保、
③最大2,200×2,400mm（G8サイズ相当）まで大型化が可能、
④ガラス基板の帯電を防止、
⑤ハレーションによる誤検知を防止、
など。