基板のID情報を読み取り、トレーサビリティを可能にする基板ID読取装置。特徴は、①固定式2次元コードリーダをコンベア上面／下面に設けて基板のID情報を読み取り、②読み取った基板IDはタッチパネルに表示、③後工程装置へ基板ID情報を送信することも可能、④ラベル印字、レーザ印字の読み取りも可能、⑤リーダ位置合わせ：XY方向に手動により調整、⑥コンベア幅調整：手動による幅可変、搬送速度10m/分定速、⑦平ベルト方式（帯電防止ベルト）により基板を搬送、など。