基板に付着したごみをブラシと粘着ローラによりクリーニングを行う基板クリーニング装置。特徴は、①基板の端面および表面／裏面をブラシによりクリーニング、②微細な塵埃については、粘着ローラで除去、③品種登録により、運転モード、基板の厚み、コンベア幅を一括で段取り替えが行える、④基板とブラシ（上面／下面）が接触しているか数値で確認することができる、⑤適用基板サイズ：L80×W50mm〜L330×W250mm、など。