高精度／高速応答性／長期安定性の三拍子揃った圧力コントローラ。特徴は、①モジュール式で幅広い圧力範囲に適応できる、②優れた制御スピードと安定性を実現、③半導体製造／検査装置、MEMS圧力センサなどの品質管理に導入し、生産コスト削減に貢献、④シングルチャンネルの『PACE5000』とデュアルチャンネルの『PACE6000』をラインアップ、など。