反射型レーザスケール
BH25-RE/NE
信号波長250nmの高精度反射型レーザスケール。特徴は、①薄型ステージ、半導体後工程機器、精密顕微鏡に最適、②体積型ホログラム格子により光の回析効率が非常に高く、S/N比の良い大きな出力信号が得られる、③温度、気圧、空気の乱れの影響を受けない高安定性、④取り付けが容易でメンテナンス性に優れる、⑤信号波長:250nm、⑥高精度:±1μm/420mm、⑦高速応答:700mm/s、⑧最高分解能:0.03125nm、⑨ラインナップ:原点付き、原点なし、⑩完全非接触:原理的に戻り誤差がない、⑪スケール部は青板ガラス/低膨張ガラス、⑫厚み12mmの薄型ヘッド、など。
- 会社名
- (株)マグネスケール
- 所在地
- 東京都江東区枝川3丁目1-4
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