−60〜400℃の温度下において、μmスケールでの反り測定が可能な反り／変形測定システム。特徴は、①500万画素カメラにより、視野角10×10mm〜400×400mm、被写界深度最大25mmの高解像／高速での3次元測定を実現するフェーズシフトプロジェクションモアレ式3次元センサ搭載、②4種類のソフトウエアを用意、③両面から加熱、④加熱スピード最速5℃/秒、⑤冷却スピード最速−6℃/秒、⑥高い温度均一性、⑦4機種用意、など。