最先端のナノテクノロジ研究からの多様なニーズに対応する原子間力顕微鏡。特徴は、①クローズドループスキャナ標準装備、②メカニカルパスを短くするなどで堅牢性の向上を図り、35pmの低いノイズフロアを実現、③17μmのZスキャンレンジを有し、凹凸の大きいサンプルにも対応、④ビデオ光学顕微鏡についてトップビュー／サイドビュー双方を標準装備、⑤様々な観察／測定モードに対応、⑥LabVIEWベースのソフトウエア、など。