卓上型蒸着装置
メビウス
卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置。特徴は、①学生向けの実験や教材作りに最適、②電源は一般家庭のAC100V壁コンセントから導入が可能、③チャンバはアルミ製で、分割方式により多くの用途に応じたサブチャンバを搭載可能、④蒸発源はタングステンボート2個搭載、主電源はAC100V壁コンセント、⑤排気系はターボ分子ポンプ、電磁フォアバルブ、油回転ポンプの組み合わせ、⑥操作不要のマルチ真空ゲージ採用により大気圧から高真空まで連続した圧力表示が可能、⑦マグネット駆動式基板シャッタ装備、⑧停電時は装置動作自動中断非常停止スイッチも装備、など。
- 会社名
- テクノウェーブ(株)
- 所在地
- 神奈川県平塚市平塚5-7-28
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