サファイア基板基板ウェットエッチング（PSS＝Patterned Saffhire Substrate）用の卓上型簡易高温エッチング石英バス。特徴は、①PSSをウェットエッチングで実現でき、薬液を300℃まで昇温可能な石英バスと、石英蓋の自動開閉、石英カセットの自動上下制御ができ、薬液温度管理と過熱防止回路、液面管理の安全装置を付属しているコントローラの2つのモジュールから構成されている、②適切な排気設備がある研究施設などでは全自動ウェットステーションは不要で、この装置があれば、安全に高温プロセスを実験することが可能、など。