卓上型簡易高温エッチング石英バス
Accubath XE-LAB
サファイア基板ウェットエッチング(PSS)用卓上型簡易高温エッチング石英バス。特徴は、①石英バスとコントローラで構成、②石英バスは薬液を300℃まで昇温可能で、PSSをウェットエッチングで実現、③コントローラで石英蓋の自動開閉、石英カセットの自動上下制御が可能、④薬液温度管理と過熱防止回路、液面管理の安全装置が付属、⑤適切な換気設備があれば全自動ウェットステーションは不要で、安全に高温プロセスを実験可能、など。
- 会社名
- (株)ヒロテック
- 所在地
- 東京都中央区日本橋本町1-1-3

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