高精度な劈開をマニュアル装置で実現した卓上型マニュアル劈開装置。特徴は、①1台の装置でマイクロインデント（浅い切り込み）から劈開まで行うことができ、精度は±10μm以内を実現、②TSVやバンプの断面観察の前処理用途としても使用でき、5分以内にそのままSEM観察ができるレベルの断面を出すことや、FIBなどの加工時間を大幅に短縮する前処理ツールとしても使用可能、③作業者に左右されない高い再現性、④低コスト、など。