クリーンルーム対応可能な薄型半球体エアベアリングステージ。特徴は、①テーブル直径が50mm（A-651）／75mm（A-652）／100mm（A-653）／150mm（A-654）／200mm（A-655）／250mm（A-656）／300mm（A-657）の7機種をラインアップ、②負荷荷重：15kg（A-651）／35kg（A-652）／65kg（A-653）／160kg（A-654）／265kg（A-655）／405kg（A-656）／635kg（A-657）、③tip/tilt動作：±45度、④動作圧力：30〜90psi、など。