小流量でも優れた感度と精度を備える医療／産業向け高精度マスフローメータ。特徴は、①Air／O₂／CO₂／N₂Oの気体に合わせて校正されており、混合ガスのモニタにも使用可能、②最大50slm（Air、O₂）の全範囲で0.005slmのゼロ点精度により、幅広い種類の混合ガスの濃度を高い精度で測定可能、③最大圧力7bar、④通信方式はIIC BUSインタフェースで、サンプリング周期0.5m秒でデジタル信号化され、完全校正済みの温度補償された出力、など。