高精度で距離／粗さ／厚さ測定を行うために設計された共焦点式センサシステム。特徴は、①開口数が非常に高い（NA 0.8）ため、透明な測定対象物でも5μmから厚さ測定が可能、②測定範囲0.1mm、③直線性最大0.05μm、④分解能最大3nm、⑤測定スポット径3μm、最大傾斜角±48°を実現、⑥ウェブインタフェースによる簡単調整、⑦アナログ／デジタル出力（Ethernet／EtherCAT／RS422）、など。