ベースとなる装置（例：膜厚測定装置）に組み込み、ステージ、LD/ULDロボットの共用などにより、設置スペース／コストを削減する全自動大型ガラス基板洗浄評価装置。特徴は、①固体試料の大きさは制限なく接触角測定が可能、②液体試料吐出／着液認識／画像解析を自動で行い、着液画像をリアルタイムで解析し、測定データを表示、③ホストコンピュータからのコマンドを受けて測定を行い、測定結果をホストコンピュータに出力、など。