主観の入らない全自動測定を行うため高再現性／高信頼性で、製品歩留まりを飛躍的に向上させる全自動スクラッチ／ディグ検査装置。特徴は、①均一照明下での高解像度の暗視野顕微観察、②XYステージ、Z軸高さ、カメラフォーカスのすべてが自動調整、③最大300×300mmの範囲で、複数の光学系を一度に計測可能、④準拠規格：MIL-PRF-13830B／ISO 10110-7 Visible Spec／ISO 10110-7 Dimensional Spec、など。