半導体製造装置（縦型炉）向けの地震対策に適した免震台。特徴は、①同社の従来型免震台よりも低い加速度で起動し、特定の可動域を超えると免震性能が切り替わる二段階の特性を有し、揺れの大きさに応じた個別の免震性能を発揮させることが可能、②縦型炉の荷重を支える支承ユニットを複数配置し、各支承ユニットは鋼製フレームとプレートで連結する構造のため、搭載する縦型炉の形状や仕様に合わせて自由度の高い設計が可能、③支承ユニットは、減衰／復元機構、免震性能切替機構の有無で3種類をラインアップ、など。